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EX-201SC-RJ數(shù)字型質(zhì)量流量控制器

小巧,滿量程 10 SCCM - 10 SLPM, ± 1%SP精度,支持8種氣體切換

作為KOFLOC全新設(shè)計(jì)的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器,EX201SC采用全新結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)從而大大減小了體積。傳感器/控制器/PID算法都沿用了DF200系列,也同時(shí)保證了優(yōu)異的精度和快速的響應(yīng)時(shí)間。通訊方面EX201SC支持基于RS-485的Modbus RTU,采用RJ45接口使用普通網(wǎng)線即可串聯(lián)多臺(tái)。


應(yīng)用及案例

? 分析儀器

? 半導(dǎo)體設(shè)備

? 工業(yè)爐窯

? 生物發(fā)酵培養(yǎng)設(shè)備

? 醫(yī)療設(shè)備

? 燃料電池

? 燃燒行業(yè)

? 汽車零部件檢測(cè)

? 真空鍍膜

? 光伏

? 食品和制藥

? 實(shí)驗(yàn)室等



產(chǎn)品特點(diǎn)

? 數(shù)字式:RS485(Modbus-RTU),RJ45接口更加快捷方便

? 體積小巧: 76*30*80MM

? 響應(yīng)時(shí)間快:<1秒

? 高精度: ±1.0%SP(>35%FS);0.35%FS(≤ 35%FS)

? 氣體切換:N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4

? 量程切換:支持修改滿量程的30~100%





技術(shù)指標(biāo)


傳感器類型

熱式繞線型

適用氣體※1

N2(氣體切換功能適用于 Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4)

量程※2

10、30、50、100、300、500SCCM,

1、3、5、10SLPM

控制范圍

2~100%FS

響應(yīng)時(shí)間

<1S

精         度

± 1%SP(> 35%FS);±0.35%FS(≤ 35%FS)

重  復(fù)  性

± 0.2%FS

動(dòng)作壓差※3

L型:50~149 KPa

H型:150~300 KPa

入口最大壓力

500 Kpa(G)

最大耐壓

980 Kpa(G)

外部泄漏率

<1.0x10-8pa*m3/sec(He)

溫度

允許環(huán)境溫度

5~50 ℃

精度保證溫度

15~35 ℃

允許保存溫度

-10~60 ℃

允許環(huán)境濕度

10~90%RH(未冷凝)

接液材質(zhì)

SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼,PTFE,PCTFE,F(xiàn)KM

電氣連接

DB9M(依據(jù)SEI標(biāo)準(zhǔn))

RJ-45模塊化插孔 X 2

模擬流量設(shè)置信號(hào)

0~5V(輸入阻抗1MΩ以上)或4~20 mA(輸入阻抗250Ω以下)

模擬流量輸出信號(hào)

0~5V(最小負(fù)載電阻1MΩ以上)或4~20 mA(最小負(fù)載電阻250Ω以下)

數(shù)字通訊

RS-485旋轉(zhuǎn)開關(guān)的地址設(shè)置(可選Modbus-RTU)

所需電源

24 VDC(±10%),300 mA以下

過程接口

1/4" SWL(標(biāo)準(zhǔn)),可選1/8" SWL、1/4"VCRM、RC1/4"F

安裝方向

建議水平方向

重         量

約500 g

尺寸(長*寬*高)※4

76*30*80 mm

注:

※1:干燥,不含腐蝕性成分以及灰塵的潔凈氣體 。沒有記載的氣體換算成N2, 細(xì)則請(qǐng)另外聯(lián)系銷售人員。

※2:流量校準(zhǔn)單位SCCM、SLPM分別表示在0℃,1atm 時(shí)的體積流量,可使用專用軟件修改氣體種類及在指定的全量程(FS)的30~100%(僅C02,CH4為30~80%)之間修改全量程范圍。

※3:動(dòng)作壓差可能會(huì)因規(guī)格不同而異。

※4:長度尺寸不包含接頭。



尺寸詳圖


尺寸圖.png



產(chǎn)品大圖


EX.png



訂貨選型


圖片1.png



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