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您當前的位置:首頁產(chǎn)品中心ALICAT 金屬密封型絕壓控制器 57系列
快速響應(yīng)的絕壓控制。
57系列金屬密封的絕壓控制器,接液材料限制為316L,加上PCTFE -這意味著它們與許多腐蝕性氣體兼容。任何流量的外形都符合SEMI設(shè)備標準,使半導(dǎo)體設(shè)備的重新利用,翻新和改裝變得容易。
半導(dǎo)體各種CVD鍍膜設(shè)備
接液材質(zhì)316L和PCTFE,能夠兼容絕大多數(shù)腐蝕性介質(zhì)。
默認背壓控制選項。
半導(dǎo)體標準尺寸,VCR 接頭與底座一體式加工,結(jié)構(gòu)更加緊湊,泄漏率可達10-10 atm·cc/sec He,更好的滿足客戶需求。