ALICAT(艾里卡特) OEM氣體質(zhì)量流量計(jì) IM系列

量程0-0.5 SCCM到0-20 SLPM，低價(jià)位，響應(yīng)時(shí)間優(yōu)于10 ms，精度優(yōu)于0.8%RD

美國(guó)ALICAT IM系列OEM型質(zhì)量流量計(jì)，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。Alicat的IM系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)可用于快速精確地測(cè)量過(guò)程氣體的質(zhì)量流量。

應(yīng)用及案例

●環(huán)境監(jiān)測(cè)

● 半導(dǎo)體

● 汽車(chē)制造

● 泄露檢測(cè)

● 燃料電池

產(chǎn)品特色技術(shù)指標(biāo)尺寸壓損尺寸詳圖產(chǎn)品大圖氣體編碼宣傳彩頁(yè)

產(chǎn)品特色

低價(jià)位OEM產(chǎn)品
多參數(shù)輸出：溫度、壓力、流量等
量程可控比寬，0.2~100%滿量程
響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于10 ms
鋁主體材質(zhì)，更輕的質(zhì)量。

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求	非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類	內(nèi)置了30種氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)切換
量程	從0-0.5 SCCM 到 0-20 SLPM（詳情請(qǐng)咨詢）
量程比	0.2～100%滿量程（500:1）
質(zhì)量流量精度	±0.8 %讀數(shù)或 ± 0.2 %滿量程，取大值
重復(fù) 性（2σ）	±（0.15% 讀數(shù) + 0.05% 滿量程）
質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移	0.025%滿量程/℃（從25℃開(kāi)始）
質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)漂移：	+0.02 % 滿量程/ Atm（從清零壓力開(kāi)始）
質(zhì)量流量壓力滿量程漂移	±0.2 % 讀數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）
控制響應(yīng)時(shí)間(T63)	＜50ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）
顯示響應(yīng)時(shí)間	＜10ms(與流量相關(guān))
傳感器響應(yīng)時(shí)間	1ms
預(yù)熱時(shí)間	<1s
工作溫度	0 ～ +60 ?C（環(huán)境和氣體）
溫度精度	± 0.75℃
工作濕度	0-95%，無(wú)冷凝
工作壓力	11.5-160PSIA
壓力精度	±0.5%讀數(shù)（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）
耐壓	200PSIA（靜壓）；75PSID（進(jìn)出口差壓）
數(shù)字輸出信號(hào)	RS232串口和Modbus RTU（默認(rèn)）；可選RS485串口和Modbus RTU
模擬輸出信號(hào)	0-5Vdc（默認(rèn)）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
模擬信號(hào)精度	在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
數(shù)據(jù)刷新頻率	數(shù)字信號(hào)40Hz@19200波特率；
	模擬信號(hào)：1000Hz
供電電壓	12-24 VDC
供電電流	12mA；模擬輸出選擇4 - 20 mA則為50mA
電氣接口	DB9M
材質(zhì)	主體材質(zhì)：鋁；
	密封材質(zhì)FKM；
	傳感器材質(zhì)請(qǐng)咨詢工廠
過(guò)程接口	NPT內(nèi)螺紋，詳細(xì)規(guī)格參考?jí)簱p表
安裝方向	無(wú)要求
安裝固定孔	2×8-32UNC螺紋，孔深0.328’’
防護(hù)等級(jí)	IP40
LED狀態(tài)指示燈	供電，通訊和故障

尺寸壓損

滿量程O(píng)EM質(zhì)量流量計(jì)	滿量程壓損（psid）排氣到大氣中	外形尺寸	過(guò)程接口	重量
0.5 50sccm	1.0	3.67''H ×2.38''W ×1.05''D	M5內(nèi)螺紋（10-32兼容）（隨貨帶Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭）
				0.4lb（約0.2kg）
100sccm - 20 slpm			1/8''NPT內(nèi)螺紋