▲ SUPER TECH ST系列

質量流量控制器是最新一代工業 微機電的產品，采用基于微機電系統(MEMS)的流量  傳感器，適用于廣泛的氣體流量精密測量領域。

ST系列量程覆蓋范圍10sccm-20slpm  (氮氣等效), 控制范圍從1%滿量程到100%滿量程。提供Modbus-RTU(基于RS232或RS485)數字信號或 模擬信號(4-20mA或0-5V)通信接口。所需的電源電 壓為15-32V。ST系列緊湊設計只有68mm 的長度和80mm 的高度， 高度是傳統產品尺寸的3/5,并且本產品可以在360° 任意角度下安裝使用。

▲ ALICAT 21系列

ALICAT 21系列標準型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。

可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設備采用快速穩定的優質電磁閥以及優化的PID調校，可達到優于100 ms的控制速度，并保持極佳穩定性，并有超低壓損產品可供您選擇。

▲ B600 系列動態氣體校準儀

能夠實現將標準氣體按照一定比例進行稀釋輸出設定濃度氣體，最多可連 接四種標氣。用于氣體傳感器、氣體分析儀等產品的校準儀器。該產品基于氣體通過 MFC（質量流量控 制器）的原理，并根據 ISO 6145 / 7 等標準制造。具有電容觸摸屏液晶界面，所有功能管理簡單易用。每個質量流量控制器是由可追溯的初級標準工廠校準。每個質量流量控制器都由可追溯的標準進行工廠 校準，具有 NIST（美國國家標準和技術研究院）可溯源校準證書。