ALICAT CVD行業專用真空控制器 53系列

快速響應的真空控制。

在流動氣體專用真空控制器中，53系列真空控制器可快速達到真空設定值并保持該設定值，即使遇到不穩定的供給壓力或者不斷變化的溫度，亦如此。我們將利用您提供的參數為您定制閥門和 PID 調節功能，確保您的真空控制器能實現快速、穩定的控制。

應用及案例

●人造鉆石MPCVD設備

●半導體各種CVD鍍膜設備

產品特色技術指標尺寸連接尺寸詳圖宣傳彩頁

● 快速、準確的閥門和PID控制算法確保在數毫秒內極其快速地達到真空設定值，且具有NIST可溯源精度。

● 默認背壓控制選項。53系列真空控制器下游閥門的選項，可使您的真空產品成為背壓控制器。該選項與絕壓壓力傳感器配合時尤其能取得事半功倍的效果，后端真空泵如何變化，均可將您的過程系統保持在一定的準確真空度。

● 針對CVD行業特殊設計的結構，VCR 接頭與底座一體式加工，結構更加緊湊，泄漏率可達10^-9 atm·cc/sec He，更好的滿足客戶需求。

性能

操作條件

兼容氣體	兼容所有非腐蝕性氣體
工作溫度	-10 ~ 60 ℃（可選高溫選項）
傳感器極限壓力	3 × 滿量程
位置敏感性	無
閥門狀態	常閉
防護等級	IP40
接液材質	302,303,304，430FR不銹鋼，FKM（默認，可選EPDM或FFKM），陶瓷，玻璃，金，銅，環氧樹脂，硅橡膠，聚酰胺，硅，玻璃增強聚苯硫醚

通訊/電源

帶背光燈按鍵，單色 LCD或彩色TFT顯示器	顯示壓力和設定點
數字通信選項	默認RS – 232/ Modbus RTU；可選RS – 485/Modbus RTU、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus TCP/IP、PROFIBUS等
模擬信號選項	默認0 - 5 VDC；可選4-20mA、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC
模擬信號刷新頻率	1000Hz
顯示刷新頻率	10Hz
數字信號刷新頻率	40Hz@19200BAUD
模擬信號精度	標準精度額外增加±0.1%滿量程誤差
電氣接口	默認DB9M；可選 DB15、6針鎖定、8針mini-DIN、M12等
供電電壓	12 - 24 VDC
供電電流	250m A（+40mA,對于4-20mA）

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