ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器 21Q系列

滿量程10 SCCM - 10000 SLPM），優(yōu)于2 %的精度，優(yōu)于100 ms響應時間，適用于高壓應用

21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標準控制器一樣，能對需要較高管線壓力（160-320 PSIA）的應用環(huán)境進行快速控制響應。這款高壓應用質(zhì)量流量控制器可快速達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實現(xiàn)穩(wěn)定控制。

應用及案例

● 大學/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯

● 半導體 ● 汽車制造

● 光伏 ● 燃料電池

● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量

產(chǎn)品特色精度升級技術(shù)指標選項配件包裝清單操作手冊機構(gòu)認證尺寸詳圖尺寸壓損產(chǎn)品大圖氣體編碼宣傳彩頁

產(chǎn)品特色

數(shù)字化產(chǎn)品
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
穩(wěn)態(tài)控制范圍廣，0. 5~100%滿量程
響應時間快，優(yōu)于100 ms
內(nèi)置98種氣體
可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

精度升級

量程為10 SCCM - 10000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取最大值）

測量范圍 0.1 ~ 100%滿量程

重復性 ± 0.1%滿量程

技術(shù)指標

介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類內(nèi)置了98種氣體，用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

量程從0 - 10 SCCM 到 0 - 10000 SLPM

量程可控比（穩(wěn)態(tài)） 0.5% ~ 100%滿量程

顯示屏標準為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

精度 ± 2%滿量程精度升級見左下角

累計流量精度流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重復性 ± （0.1%讀數(shù)+0.02%滿量程）

質(zhì)量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）

± 0.01%滿量程/ Atm（從清零壓力開始）

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25℃開始）

± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準壓力開始）

控制響應時間（T63）＜100 ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）

顯示響應時間＜10ms（與流量相關(guān)）

預熱時間＜1s

工作溫度 -10 ～ 60 ℃（環(huán)境和氣體）

溫度精度 ± 0.75℃

工作濕度 0 ~ 95%，無冷凝

工作壓力 11.5-320PSIA

壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

耐壓 400PSIA（靜壓）；75PSID（進出口差壓）

滿量程壓損參考詳細壓損表

數(shù)字輸入/輸出信號 RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet

模擬輸入/輸出信號 0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

數(shù)據(jù)刷新頻率數(shù)字信號40Hz@19200波特率；

模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10Hz

模擬信號精度在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓 12 - 24VDC（與量程相關(guān)）

供電電流 0.250 -2A（與量程相關(guān)；+40mA，對于4-20mA輸出）

電氣接口 DB9M（默認），可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）選擇HLCP選項，泄漏率可低至1 x 10^-6Atm cc/s He

材質(zhì) 主體材質(zhì)：302,303,304和316LSS；

PCV閥門材質(zhì)：430FRSS和黃銅；

R閥門材質(zhì)：410SS，Nylon和Derlin；

密封材質(zhì)FKM；

傳感器材質(zhì)請咨詢工廠

過程接口 NPT內(nèi)螺紋（默認），詳細規(guī)格參考壓損表；其他接口形式請咨詢

安裝方向配置R閥門需閥體垂直向上安裝，其他閥門無要求

安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關(guān)，具體請咨詢

防護等級 IP40（可選IP66）

認證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）

選項配件

（需另行訂購）

● 過程端口接頭和過濾器

● 電源

● 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜

● BB3和BB9多點式集線盒

● Flow Vision軟件

包裝清單

● MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）

● NIST可溯源校準證書

● 艾里卡特操作說明書

操作手冊

朗潤達-ALICAT 簡易操作說明-氣體質(zhì)量流量控制器21V1.pdf

機構(gòu)認證

尺寸詳圖

21Q尺寸圖.png

尺寸壓損

滿量程高壓質(zhì)量流量控制器	滿量程壓損（psid）排氣到大氣中默認閥門配置	外形尺寸	過程接口	重量
10 SCCM	2.8	3.90''H x 3.34''W x 1.05''D	M5內(nèi)螺紋（10-32兼容）（隨貨帶Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭）	1.1lb（約0.5kg）
50 SCCM	1.0	3.90''H x 3.34''W x 1.05''D
100 SCCM ~ 500 SCCM	1.0	4.07''H x 3.59''W x 1.05''D	1/8'' NPT 內(nèi)螺紋	1.2lb（約0.5kg）
1 SLPM	1.5
2 SLPM	3.0
5 SLPM	2.0
10 SLPM	5.5
20 SLPM	20.0
50 SLPM(配置R閥門)	2.0	5.50''H x 8.03''W x 2.25''D	1/4'' NPT 內(nèi)螺紋	9.0lb（約4.1kg）
100 SLPM（配置R閥門）	3.2	5.50''H x 8.03''W x 2.25''D	1/4'' NPT 內(nèi)螺紋	9.0lb（約4.1kg）
250 SLPM（配置R閥門）	2.4	5.50’’H x 7.65’’W x 2.25’’D	1/2’’ NPT 內(nèi)螺紋	9.0lb（約4.1kg）
500 SLPM	6.5	5.50’’H x 7.28’’W x 2.25’’D	3/4’’ NPT 內(nèi)螺紋	9.0lb（約4.1kg）
1000 SLPM	14.0	5.50’’H x 7.28’’W x 2.25’’D		9.0lb（約4.1kg）
2000 SLPM	28.6	5.50’’H x 8.10’’W x 2.90’’D		12lb（約5.4kg）
3000 SLPM	16.8	5.50’’H x 8.90’’W x 2.90’’D	1-1/4’’ NPT 內(nèi)螺紋	12lb（約5.4kg）
5000 SLPM	14.1	6.33’’H x 10.00’’W x 4.50’’D	1-1/2’’ NPT 內(nèi)螺紋	28lb（約12.7kg）
10000 SLPM	12.0	6.33’’H x 9.73’’W x 4.50’’D	1-1/2’’ NPT 內(nèi)螺紋	23lb（約10.4kg）

產(chǎn)品大圖

21-新xiao.png

氣體編碼

氣體編號列表.png

宣傳彩頁

ALICAT 21Q系列25V1.pdf