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質量流量控制器的壓力控制模式?太酷了!
Alicat的應用工程師們每天都與世界各地、各個行業的人討論他們如何使用Alicat質量流量計、質量流量控制器。經常遇到一些很有趣的應用,比如利用Alicat質量流量控制控制化學反應器中的壓力,從而確保整個實驗過程是可重復的。
也許很多用戶還不知道Alicat質量流量控制器其實可以設置為壓力控制模式,在測量質量流量的同時控制壓力。Alicat質量流量控制器可以測量體積流量,質量流量,溫度,壓力,并可以使用Alicat質量流量控制器控制其中任意一個參數,除了溫度。在壓力控制模式下,僅用一臺質量流量控制器就可以同時擁有壓力控制器和質量流量計的功能。這是一個很獨特的功能,只需要幾秒鐘的時間你就會認識到它的價值。
市場上大部分質量流量控制器都沒有太多的靈活性,只允許控制質量流量。例如在用壓力衰減法做泄漏測試的過程中,您會需要一個壓力控制器來建立壓力,關閉閥門,等待壓力衰減。接著就可以通過腔體體積、氣體類型、壓力降、時間等參數計算泄漏率,這樣的過程比較麻煩,且需要一定專業知識。如果您有一個自帶流量測量功能的壓力控制器,在壓力建立的瞬間就能讀取到泄漏流量,既節省了等待時間,又省去了計算過程的麻煩,并且不需要太多設備,節省了成本和安裝空間。
什么是CLP壓力控制回路?
壓力控制回路CLP是基于壓力而不是基于流量的反饋-控制回路。典型的MFC一般測量質量流量,然后根據流量反饋值調節閥門開度,來增加/降低流量大小使之接近設定值。而Alicat質量流量控制器不僅有流量控制回路,也有壓力控制回路。當控制壓力的時候,閥門會根據壓力測量值調節,以控制壓力達到設定值。例如,你想用Alicat質量流量控制器控制下游壓力為100 PSI,而當前下游壓力是80 PSI,這時質量流量控制器就會打開閥門直到壓力達到設定值。如果您有一個應用既要控制壓力又要測量流量,那么,一臺Alicat質量流量控制器就可以實現,也許是泄漏測試,流量測試,或質量檢查。在質量檢查中,你的產品可能需要滿足一個特定的壓力-流量曲線,以確保達到質量合格標準。
帶CLP模式和TOT功能的MCD
帶CLP壓力控制模式、TOT流量累加器功能和雙閥的MCD是一個雙向質量流量控制器,它有3個端口(進氣端、過程控制端、排氣端),2個閥門(一個進氣閥,一個排氣閥)。您可以用它來控制密閉容器的壓力,也就是說不僅可以通過開關進氣閥來調節流量大小,如果容器過壓,還可以通過排氣閥排氣到大氣或真空泵來降壓,使容器壓力達到設定值。TOT流量累加器可以測量整個過程中產生的累計流量。有4種不同方式來確定使用MCD雙向質量流量控制器工作過程中產生的累計流量。
1.正向流量減去負向流量,得到累計流量,允許累計流量為負值。
2.正向流量減去負向流量,得到累計流量,不允許累計流量為負值。
3.只計算正向流量,忽略負向流量。
4.正向流量減去負向流量,得到累計流量,累計流量達到0時重置。
有了TOT流量累計功能,任何時候您都可以知道容器內有多少氣體。如果您想測量進入系統的氣體總量,這個功能就很有用了。
使用Alica質量流量控制器校準轉子流量計
轉子流量計是測量體積流量的,只有在校準條件下測量的流量數值上才等于質量流量。有時候它們使用標準質量流量SLPM或SCCM作為流量單位,但實際上這個質量流量讀數只有在校準條件下測量才是有效的。而Alicat質量流量計、質量流量控制器的質量流量讀數在任何時候都是有效的,因為它的內部有壓力和溫度傳感器,當氣體壓力、溫度改變的時候,可以根據壓力和溫度的測量值實時修正質量流量讀數。通常轉子流量計與Alicat質量流量計是不具有可比性的,因為它們測量的不是同一個對象,除非將轉子流量計置于它的校準條件下。既然我們可以用Alicat質量流量控制器控制壓力,為什么不用它控制轉子流量計的校準壓力?
要控制轉子流量計的下游壓力,需要將Alicat質量流量控制器置于轉子流量計下游,并且將質量流量控制器的閥門后置,這樣您控制的就是質量流量控制器和轉子流量計的背壓。將壓力設定為轉子流量計的校準壓力后,你就可以同時使用轉子流量計和Alicat質量流量控制器測量質量流量。當然,您必須保證Alicat質量流量控制器內選擇的氣體類型和標況條件和轉子流量計一樣,這些在轉子流量計上是不可調的,但在Alicat 質量流量控制器上可隨意切換。在Alica質量流量控制器上,您可以選擇多達130種氣體,并且自由切換標況溫度和壓力。
為什么選擇Alicat質量流量控制器
為用戶解決特殊應用問題,是Alicat應用工程師們的樂趣。為了滿足用戶需求,Alicat質量流量計、質量流量控制器的任何參數都是可定制的。如果用戶有一個特殊應用是我們從未遇到的,我們的解決方案可能會做一些調整,例如改變閥門的位置,或者增加一個相對濕度傳感器。現在我們正在研究如何處理500 SLPM二氧化硫流量控制的應用。由于二氧化硫具有強腐蝕性,我們需要使用316不銹鋼本體和FFKM橡膠墊密封。
如果您正有一個應用可能需要定制化的解決方案,請聯系我們的應用工程師。我們會盡力解答您的技術問題,并且嘗試給你一個可行的定制化解決方案。