ALICAT 氣體質量流量控制器-雙向型 22S系列

產品特色

●  數字化產品

●  多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  多參數控制:體積流量、質量流量和壓力

●  可選高精度：優于0.5%

●  高量程比 100：1

●  響應時間快 僅需100ms（可調）

●  內置128種常規以及腐蝕性氣體

●  可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

●  可適用于諸多腐蝕性氣體

技術指標

介質要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類    內置了128種氣體，請參考背面氣體兼容表一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量量程程    從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-5000SLPM～5000SLPM

量程比比    100：1

最大顯示流量    -100%FS～100%FS

顯示屏屏    帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精精度度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-雙向滿量程

高精高度    ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

重復復性    ± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ℃/ Atm

響應時間    100ms(可調) 預熱時間：<1s

標定工況    25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa、絕壓0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)

工作溫度    -10 ～ +50 ℃

工作濕度    0-100%，無冷凝

標準最大工作壓力    1MPa 表壓

標準極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項    2MPa

數字輸入/輸出信號    RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號    0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

可選第二路模擬輸出    質量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ～ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業接頭

材材質質    316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安裝方式    對位置無要求 

防護等級    IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們

選項配件

1

安裝手冊

1

機構認證

1

尺寸詳圖

1

產品大圖

1

型號列表

1

氣體編碼

* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。