ALICAT 氣體質量流量控制器 01系列

量程100 SCCM - 50 SLPM，優于2%精度，優于100 ms響應時間，體積小巧精致，適合系統集成

美國ALICAT 01系列質量流量控制器，采用了熱帖片式原理，而且克服了熱式對于預熱時間的要求，01系列的預熱時間僅需要70ms，且保證了流量控制的穩定性和精確度。01系列測量和控制范圍高達0.5 ~ 100%，可以滿足更多的客戶流量控制應用場合。
材質上，01系列采用了316不銹鋼主體，FKM密封，并具備較強的抗振動性能。使用上，配備了RS-485及0-5 VDC通過9針的工業插頭可輕松實現數字、模擬信號的測控。維護上唯一影響設備壽命與精度的是被測氣體的品質，該系列設計用于測控潔凈、干燥、無腐蝕性的氣體。儀器無需定期清潔。如有必要，用柔軟的干抹布擦拭設備外部即可。

應用及案例

● 醫療設備配套

● 環境分析儀器配套

● 光譜色譜分析儀器配套

● 其它氣體流量測控行業

產品特色技術指標選項配件操作手冊機構認證尺寸詳圖尺寸壓損產品大圖型號列表氣體編碼宣傳彩頁

產品特色

● 價格低廉，性能卓越

● 超小的體積，輕松置于掌心，適合系統集成

● 快速響應，優于70 ms的預熱時間

● 壓損極低，最小滿量程壓損僅為1KPa

● 內置精巧的PD閥（比例微分閥），控制穩定、精確

● 測量和控制范圍0.5 ~ 100%滿量程，一臺設備適用于多個應用

● 配備模擬控制和數字控制

● 卓越的抗振性能，可適用于鐵路焊機等嚴格場合

技術指標

介質要求潔凈、干燥、無腐蝕性氣體

介質種類每臺設備只能選擇A，B，C其中一種

A：空氣（AIR）、氬氣(Ar)、二氧化碳(CO2)、氮氣(N2)、

氧氣(O2)、一氧化二氮(N2O)，可通過數字方式切換

B：氦氣(He)；

C：氫氣(H2)，其他氣體需咨詢

量程 0-100 SCCM ，0-1000 SCCM， 0-20 SLPM，0- 50 SLPM

（注：選擇CO2和N2O后量程降低為原來的75%）

測量和控制范圍 1 ~ 100%滿量程（0-100 SCCM）

0.5 ~ 100%滿量程

（0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM）

精度 ±（1.5 % 讀數 + 0.5 % 滿量程）

重復性 ± 0.5 % 讀數

質量流量溫度漂移 ± 0.2 % 滿量程 / ℃

時間漂移 0.05%滿量程/年

累計流量精度：標準精度額外增加±2%讀數

響應時間優于100 ms

預熱時間 70 ms

默認標準狀況（STP） 25℃ & 1Atm（其它標況可定制）

工作溫度 0 ～ 50℃ 工作濕度 < 90 %，無冷凝

最大工作壓力 0-100 SCCM、0-1000 SCCM、0-50SLPM為145PSIG

0-20 SLPM為60 PSIG

耐壓 175 PSIG

數字輸入/輸出信號 RS485或RS232，Modbus RTU協議

模擬輸入/輸出信號 0 - 5 VDC或4 - 20 mA

模擬信號刷新頻率 400 Hz

供電電壓 10-30 VDC

供電電流 200 mA

泄漏率閥門泄露：10-5 Atm cc/sec He ，外漏：10-9 Atm cc/sec He

材質主體材質： 316不銹鋼

閥體材質：黃銅，302，303，430FR不銹鋼

密封材質：FKM（Viton）；傳感器：氮化硅

過程連接 NPT或SAE內螺紋

振動 20g；MIL-STD-883E，Method 2002.4

安裝方式對位置無要求

閥門類型：常閉

防護等級 IP40

認證 CE、RoHS、REACH

選項配件

操作手冊

機構認證

尺寸詳圖

Alicat 01系列尺寸圖.jpg

尺寸壓損

設備滿量程	對大氣滿量程壓損（KPa）	機械尺寸	過程連接尺寸
0 ~ 100 SCCM	1	2.6''H ×2.5''W ×0.9''D	1/8''NPT內螺紋
0 ~ 1000 SCCM	1	2.6''H ×2.5''W ×0.9''D	1/8''NPT內螺紋
0 ~ 20 SLPM	35	3.0''H ×2.8''W ×0.9''D	3/8''NPT內螺紋
0 ~ 50 SLPM	咨詢我們	2.7''H ×4.0''W ×1.4''D	3/8''NPT內螺紋